共焦显微镜
 
US12288060  2008-10-16  发明申请

2010-4-22
 
  本发明提供一种可缩短测量时间的共焦显微镜。 从光源的光中提取线性亮线。 从线性亮线发射的白光通过色差透镜色散成连续波长分量,然后该色差透镜经由物镜将样品照射到载物台上。 对于沿高度方向的光轴上的每个波长连续成像色散的线性亮线,并且将具有一个波长的光聚焦在样品表面上的一个特定点上。 具有聚焦在样品表面上的波长的光的反射光经由物镜被色差透镜收集,然后聚焦在狭缝上。 通过狭缝的光被分光器件分离,并在二维阵列光电探测器上成像。
 
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