| 用于扫描探针显微镜高扫描速率定位器 |
| US12581135 2009-10-17 发明申请 |
| 2010-4-22 |
| 一种系统，包括包含第一对致动器线圈的第一致动器半体和位于第一对致动器线圈上方的第二对致动器线圈，其中第一对致动器线圈连接到第一金属背衬。 第二致动器半体也设置在系统内，其包含第一对致动器线圈和位于第一对致动器线圈上方的第二对致动器线圈，其中第一对致动器线圈连接到第二金属背衬。 所述系统还包括机械挠性悬架，所述机械挠性悬架具有支撑能够移动的永磁体的至少一个挠性件，其中所述机械挠性悬架位于所述第一致动器半体和所述第二致动器半体之间。 |
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