| 模块化原子力显微镜 |
| WOUS09005631 2009-10-14 发明申请 |
| 2010-4-22 |
| 一种模块化的AFM\/SPM，其提供了更快的测量，在部分通过所述使用较小的探针，较小的力和运动; 无噪声的伪影，使所述的旧世代这些设备具有越来越不能以提供。所述模块化的AFM\/SPM包括一底盘，所述的基础上的所述的仪器，其中所述的模块被支撑; 一个视图模块提供所述光学器件用于观看该样品和所述探针; 一个头模块提供所述组件用于所述的光学杠杆装置和用于转向和聚焦的那些部件; 一扫描器模块提供所述XYZ平移台，其致动所述的那些尺寸和所述接合机构中的样品; 一隔离模块，其包围所述底盘和提供声和\/或用于该分期付款的热隔离和一个电子模块，其中，与所述单独的控制器一起，提供所述电子设备，用于获取和处理图像和所述其它控制功能。所述的仪器。 |
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