制备透射电子显微镜用样品的方法和装置
 
US12576777  2009-10-9  发明申请

2010-4-15
 
  在用于制备透射电子显微镜用样品的方法的情况下,从样品材料的基底制备样品。 为此,利用激光束沿着照射轨迹照射样品材料,以便在样品材料中产生弱路径。 控制所述照射,使得所述弱路径在交叉区域中以锐角穿过另一弱路径,所述另一弱路径同样优选地通过在样品材料中运行的激光照射而产生。 基板沿着弱路径断裂。 由此制备了一种样品,其具有由断裂表面限定的楔形样品部分,并且在楔形尖端的区域中具有至少一个电子透明区域。
 
仿站