| 透射电镜用力电性能与显微结构测量的传感器及制作方法 |
| CN200910209565.X 2009-10-30 发明申请 |
| 2010-4-14 |
| 本发明涉及一种透射电镜用力电性能与显微结构的传感器及制作方法，特征在于：传感器由悬空结构、压敏电阻悬臂梁、支撑梁、双金属片等组成。当双金属片产生弯曲变形时，弯曲或压缩低维纳米材料，低维纳米材料再推动压敏电阻悬臂梁产生弯曲变形。通过惠斯通电桥输出电信号的变化，来获取低维纳米材料所受应力的大小。同时，通过透射电镜中高分辨成像系统，来获取低维纳米材料的形变量，从而测得低维纳米材料的应力-应变曲线。当低维纳米材料在通电状态下测量时，则也能获取电压-电流曲线。本发明的传感器可以在原子点阵分辨率下，原位记录低维纳米材料力电性能和显微结构变化的相关性。 |
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