| 粒子光束系统E。G。透射电子显微镜，半导体工业中，具有源和粒子光束形成元件用于制造电子束形成和设置在一起，与内腔室中气体供应系统 |
| DE102008049655 2008-9-30 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 一个粒子光束系统是由可用，其覆盖粒子17的一源极，一粒子辐射赋形元件21; 25，29，一气体供应系统55和一用于限制抽真空的真空涂层9的内部13。所述气体供应系统允许以提供激活物质65所述粒子辐射后的赋形元件，由此激活一种去污所述粒子辐射的赋形元件用于所述激活物质是由可能的。所述气体供应系统可以被设置在所述内部和所述粒子辐射赋形元件可以催化材料71用于激活所述激活物质的盖。 |
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