| 显微镜物镜 |
| CN202311729385.0 2023-12-14 发明申请 |
| 2024-2-9 |
| 本发明涉及一种显微镜物镜，包括从物面起依次排序的：具有负光焦度的第一透镜群；具有正光焦度的第二透镜群；以及具有正光焦度的第三透镜群；该显微镜物镜满足以下关系式：1.5＜|H2/H3|＜5；0.1＜|H1/H2|＜1；其中，H1表示中心视场边缘光线在该第三透镜群中的镜片的表面的最低投射高度，H2表示中心视场边缘光线在该第二透镜群中的镜片的表面的最高投射高度，H3表示中心视场边缘光线在该第一透镜群中的最靠近该物面的镜片的表面的投射高度。该显微镜物镜具有大于等于11mm的工作距离，能够为工业半导体检测提供安全的工作空间，具有大于等于32mm的视野范围，能够同一时间获得更多的有效信息，具有最大能够达到0.7的数值孔径，能够在小孔径内完成50X高分辨率。 |
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