| 接触型原子力显微镜 |
| JP2008243536 2008-9-24 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一接触型原子力显微镜能够快速的获得一种稳定的图像一种样品的表面形状在一个大气压力不环境中的一个状态控制当所述表面形状是通过一种接触模式具有高灵敏度测量不规则。溶液 : 一非测量区域的外侧设置一个测量区用于测量所述表面形状，一个调制信号从一调制信号振荡器18被给定到一个Z-扫描器6以其在一Z-轴方向振动的同时，一个探针2是扫描所述非测量区，从而防止所述样品S之间的吸附力作用和所述探针2。版权 : (C)2010，inpit |
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