| 扫描显微镜 |
| JP2008243430 2008-9-23 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一个通过其扫描显微镜所观察的图像质量观察中使用偏振如微分干涉观测是通过使所述的照明光的偏振状态更好的改进。溶液 : 该扫描显微镜1包括 : 一光源6发射所述的照明光在一个线性偏振状态; 一扫描机构22样品的扫描该表面S与所述的照明光; 光纤7引导从该光源6发出的照明光至所述扫描机构22; 一种照明光学系统具有一种功能，用于与所述的照明光照射该样品S通过所述的光学光纤7，该扫描机构22和一个物镜光学系统3; 和一偏振方向校正部件8所述出射端之间设置的所述光纤7和所述扫描机构22和使所述所发出的照明光的偏振方向从所述光纤7重合，与所述所述的照明光的偏振方向时，它是从所述光发射源6。版权 : (C)2010，inpit |
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