| 图像处理系统，和扫描电子显微镜的仪器 |
| JP2008249465 2008-9-29 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种装置用于图案匹配其获得的位置选择精度足够用于测量和达到高速处理，即使当图案中共存的尺寸和形状变化和类似的图案匹配用于指定一个测量位置。溶液 : 该图像处理系统包括一种装置，用于使用多个部分的一个模板作为小的模板用于一图案图像的模板匹配，一种装置，用于提取一类似的图案使用所述模板的位置信息匹配和放大\/缩小计算速率和失真率，和一种装置，用于设置一用于分类的条件在该放大\/缩小率的基础和所述失真率。版权 : (C)2010，inpit |
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