| 化合物显微镜观察样品的装置和方法 |
| JP2008245125 2008-9-25 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种化合物的显微镜装置的有效来分析样品和能够输出的一通过合成获得的适当的图像信息从一个共焦显微镜的各种图像信息输出和图像信息输出从一个电子显微镜。溶液 : 该化合物显微镜包括 : 一样品室，在其一个用于保持一样品以被观察到的样品级被设置; 所述的电子显微镜，其拍摄的电子所述样品的显微镜图像; 所述共焦显微镜其拾取所述样品共焦点的图像; 和一个信号处理装置，其接收输出信号从所述的电子显微镜和所述共焦显微镜和输出各种图像信号。所述共焦显微镜的光束轴和所述的电子显微镜被设置在与每个其他平行。所述样品级具有两个三维坐标，它调节一个两维平面内的交叉位置所述的光学轴一物镜和所述光束的轴的所述的电子显微镜，和所述共焦显微镜和所述的电子显微镜通常具有所述坐标。作为结果，所述两维彩色信息和所述表面由所述的电子显微镜获得高度信息和所述共焦显微镜进行合成，以显示一种彩色电子显微图像或三-维显微镜图像。版权 : (C)2010，inpit |
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