| 差动干涉对比显微镜 |
| US12360504 2009-1-27 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 一种适用于检查测量区域内的样品的差分干涉对比显微镜(DIC显微镜)，包括光源，分束器，第一偏振器和第二偏振器，第一DIC棱镜和第二DIC棱镜，波片和图像传感器，其中分束器将光源产生的光束反射到测量区域，并且从测量区域反射的光束通过分束器到达图像传感器。 所述第一偏振器位于所述光源和所述分束器之间，所述第二偏振器位于所述分束器和所述图像传感器之间。 所述第一DIC棱镜，所述波片和所述第二DIC棱镜依次位于所述分束器和所述测量区域之间。 所述第一DIC棱镜的主轴与第二DIC棱镜的主轴之间的夹角为90度。 |
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