| 使用配方的诊断装置，用于扫描电子显微镜 |
| WOJP09004620 2009-9-16 发明申请 |
| 2010-4-8 |
| 本发明公开了一种配方的诊断装置用于一种扫描电子显微镜，其快速地指定一个错误使该配方由于工艺波动的因素或所述等。具体地公开的是，一个诊断装置的配方，以操作一个扫描电子显微镜是提供具有一程序以使一显示装置示出了移在一个得分表示所述图案的匹配程度的一致性，其中一个所述图案的匹配条件被设置在所述的配方; 一个所述图案匹配之前和之后的坐标的偏差; 在信息变化或波动量上等的一透镜之前和之后所执行的自动聚焦。 |
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