| 一种干涉显微镜 |
| CN202222246259.7 2022-8-25 实用新型 |
| 2024-2-9 |
| 一种干涉显微镜，包括光源、扩束镜、第一分光镜、干涉物镜、第一聚光镜、反射镜、第二聚光镜和CCD相机；所述干涉物镜包括同轴依次设置的物镜组、参考镜和第二分光镜，所述物镜组设于靠近第一分光镜的一侧，所述参考镜上靠近物镜组的一面为参考面，所述第二分光镜上靠近参考镜的一面为分光面，所述参考面和分光面的整个平面上镀有分光膜。此干涉显微镜利用白色LED光源，在参考面和分光面的整个平面上镀有分光膜，不仅使视场范围更大，而且被测样品不需要直接接触干涉物镜，被测样品与干涉物镜之间的最远距离可达10毫米。 |
微信公众号