| 扫描电子显微镜装置，和其聚焦方法。 |
| JP2008240190 2008-9-19 发明申请 |
| 2010-4-2 |
| 要解决的问题 : 以解决一个问题 : 为了实现一电子光学系统在其一个表面电场控制电极被安装和一个主电子束直径被减小，该表面电场控制电极需要被相邻的一晶片，和用于其原因，它变得不可能进行高度检测用于聚焦。溶液 : 一高度测量位置是从一主电子照射位置偏移，和一个高度校正机构是安装以正确的高度移到所述高度测量位置的水平位置的差异，所述初级电子照射的位置; 和时间。此外，为了最小化移位的量，所述的屏蔽板具有相同的电位作为其晶片被放置在所述表面的周围的电场控制电极，和高度测量是进行由在该板安装一个光路径。版权 : (C)2010，inpit |
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