| 可变速率扫描电子显微镜中 |
| KR1020090090579 2009-9-24 发明申请 |
| 2010-4-1 |
| 目的 : 一种可变速率扫描电子显微镜中被提供到使一表面具有不同分辨率的图像通过将所述表面成多于两个区域的区域，其是不同的和使用一个扫描带电粒子。<\/P> 的结构 : 一投影模块(22)扫描一个表面上的第第一区域，并产生一第一辅助充电束从所述第一区。所述投影模块的扫描一第二区域和从第二区产生一第二辅助充电束。一个检测器(31)接收第一辅助充电束和第二辅助充电束。一个处理器(32)产生一个图像第二区域和第一的区域在响应于一个信号。<\/P> 版权kipo2010<\/P> |
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