| 一个抽真空装置和一种扫描电子显微镜 |
| WOIL09000926 2009-9-24 发明申请 |
| 2010-4-1 |
| 一个抽真空装置，其包括 : 一密封壳体，一电子束源，一个电子光元件，一薄的膜，以及一个检测器。所述薄的膜密封该密封外壳的一个孔。所述密封外壳限定了一个其真空中被保持真空的空间。所述电子束源被配置成产生一个电子束所述真空的空间内传播，相互作用，与所述电子光元件和穿过所述薄的膜。所述密封壳体的一第一部分的形状以配合一由非限定的空间抽真空的扫描电子显微镜组件，其被保持在非真空环境。 |
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