| 用于控制样品的充电方法和扫描电子显微镜 |
| WOJP09065454 2009-8-28 发明申请 |
| 2010-4-1 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜包括多个4a的孔(11a，11a4b，114ac)通过其电子束(110)。可以通，部分面向所述侧上提供一个样品(105)在所述外围部分(11a5a，115aB，115aC)围绕所述多个孔的并具有一个用于每个孔径不同的二次电子发射效率，和一个机构，用于切换所述多个的孔。还提供一种样品是一种用于控制所述的充电方法，其中所述量的电子的重新进入所述样品是通过控制所述量的控制的电子被从所述样品发射的电子通过切换时产生所述多个孔的碰撞与所述外围部分。因此，该样品的表面上的充电可以通过控制所述的所述量的比率控制电子进入所述样品和所述从所述样品发射的电子的量。 |
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