| 用光学显微镜自动监控硅片周边去边及缺陷的方法 |
| CN200810043812.9 2008-9-26 发明申请 |
| 2010-3-31 |
| 本发明公开了一种用光学显微镜自动监控硅片周边去边及缺陷的方 法，包括以下步骤：一.选择硅片，用自动检测仪器进行扫描，生成原始 数据文件；二.通过系统软件编辑所述原始数据文件，在自动检测仪器扫 描范围之外的硅片边缘无效晶片区添加虚拟晶片，在添加的虚拟晶片上编 辑虚拟缺陷，生成数据结果文件；三.通过系统软件将所述数据结果文件 传送到光学显微镜，光学显微镜根据所述数据结果文件对包括硅片边缘无 效晶片区的硅片表面进行自动拍照；四.系统软件通过照片来分析硅片周 边的去边情况及硅片周边的缺陷情况。采用本发明的方法，能对硅片边缘 的去边情况及缺陷情况进行自动确认。 |
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