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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

JP2003299477 2003-8-25 发明授权

2010-3-31

它被硬用于常规sems以采取测量在一个高的速度和采取准确测量当一个绝缘体与探针之间存在一个对象和所述检测器，因为该传统sems使用一种连续电子束。还，它是不可能的，以在所述测量电流的施加电压到所述样品。通过脉冲调制所述电子束和一个高频信号分量中提取从所述样品，这里公开了新的SEM设备检测所述样品中吸收的电子在一高的速度和与精度。精确的和可以实现高速吸收电流测量。可以提供高-功能检查装置。