| 原子力显微镜 |
| JP2008231424 2008-9-9 发明申请 |
| 2010-3-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜(AFM)能够测量所述的表面形状的样品在一个高的速度，同时防止一个跟踪误差。溶液 : 所述原子力显微镜包括 : 一悬臂具有一个样品探针相互作用，以所述的表面通过一个原子力和由所述原子力产生翘曲; 一激光的光提供装置，用来使一个第一的激光光入射到所述悬臂; 一个光学检测装置，用于检测一第二发出的激光光通过反射第一的激光的光通过所述悬臂; 一Z-压电具有一个样品放置在其上; X-扫描的扫描器，用于区分所述速度的一前向路径从所述扫描的速度在一个当反向路径所述探针在X-轴方向和所述相同的扫描线在所述样品的表面被往复扫描; 观察者用于估计所述表面形状包括从输出Y和样品之间的点控制输入u; 和一个栈存储器，用于学习所述估计。所述显微镜包括一个用于正确地读取该存储器以施加一个前馈控制器学习信号。版权 : (C)2010，inpit |
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