| 信号光测量系统用于近场光学显微镜 |
| WOJP09004588 2009-9-15 发明申请 |
| 2010-3-25 |
| 本发明公开了一种信号光测量系统用于近场光学显微镜，其是能够测定的所述的依赖性信号从试样发出的光通过近场光的装置具有相对于所述探针之间的距离和该样品。该信号光测量系统是配备有一探头(14)，其中扫描该表面的一样品，一种光源(16)，和一个分光镜(18)，其检测信号从所述样品发出的光。所述探头(14)包括一悬臂和一个银及其所述尖端上的芯片。所述悬臂是由一振荡器(20)振动，使所述银芯片到间歇地使所述的尖端接触该样品与所述的表面。从所述光源(16)发出的光穿过光调制器(24)，一束分离器(26)，一个物镜透镜(22)，和一透明基板(12)，并撞击所述试样表面，所述样品表面处产生近场光。信号光被辐射从所述样品通过这种近场光的装置。 |
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