| 用于所述扫描探针显微镜探针对准工具 |
| WOUS08010843 2008-9-18 发明申请 |
| 2010-3-25 |
| 一探针对准工具(10)，用于扫描探针显微镜利用一个连接中继光学系统的向视图，该扫描探针显微镜探针尖端(40)和对准其图像在该中心的所述的场光学显微镜(36)的视图。电动级的调节，以光学显微镜(50)和(60)沿与扫描探针显微镜的调整阶段(44)，(46)。和(58)允许确定一路径和从所述的中心的距离的所述领域的视图到所述探针尖端(40)。从这种确定一个待检查的目标区域通过所述扫描探针显微镜可以被精确地定位和准确地下，所述探针尖端(40)。替换一扫描探针显微镜探针的尖端(40)中的一种原子力显微镜单元(42)可以完成不对准的所述损耗测量。 |
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