| 削尖的金刚石针，使用相同的用于扫描探针显微镜的悬臂，光掩模-校正探针，和电子束源 |
| JP2009179208 2009-7-31 发明申请 |
| 2010-3-18 |
| 要解决的问题 : 提供一种金刚石探针，它可以有效地产生在量大，具有一尖端直径是允许一个扫描探针显微镜进行观察与高分辨率和与高精度的微细加工和一针具有足够的长度，用于进行结构观察与一高纵横比，和耐磨损，以提供一种悬臂包括所述相同的用于一种扫描探针显微镜，以提供一种光掩模-校正探针，和提供一种电子束源。溶液 : 一种金刚石针具有一个长度，它是难以制造的通过，例如，反应性离子刻蚀，制成通过热化学处理，和该金刚石针的尖端部分被削尖的通过等离子体蚀刻或通过生长所述顶端部分与微波等离子体CVD，因此，该削尖的金刚石针5可有效地产生在大量可得到的。所述用于扫描探针显微镜的悬臂包括至少一个或多个尖锐的金刚石针5作为该探针。版权 : (℃)2010，约inpit |
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