| 共焦显微镜 |
| JP2008218162 2008-8-27 发明申请 |
| 2010-3-11 |
| 要解决的问题 : 以提供一个共焦显微镜提高有效切割-关频率，而不提高光学切断频率。溶液 : 所述共焦显微镜包括一个照射光学系统1-1提供的聚光照明光从一光源，向检测对象，和一个检测光学系统1-2发出的光检测在所述检测对象根据所产生的照明光，通过一个共焦光阑设置在一位置共轭到所述的照明光的聚光点。一空间频率滤波器(30)，其中所述的透射率中的一种光瞳外围部分和一个光瞳中心部分为高于其它的部件，被设置在一物镜透镜光瞳面或其共轭面在一个独立的光路径的一个所述照射光学系统和所检测的光学系统。版权 : (C)2010，inpit |
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