| 原子力显微镜装置 |
| JP2008212095 2008-8-20 发明申请 |
| 2010-3-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜装置(afm)稳定地测量所述表面形状的一样品被一个测量目标不振动的行为。溶液 : 所述原子力显微镜装置100中所述样品表面103所述的表面形状的图像一种接触模式。该装置包括 : 一个激光-用于制造光提供装置第一的激光光104入射到一个悬臂101; 一个光检测装置105用于检测第二由于所发出的激光光106反射的第一激光的光通过所述悬臂; 一压力计107在其一个样品被放置; 和一个控制器，其控制所述样品表面之间的距离和探头由一个输入的输入电压到所述压力计，检测所述悬臂偏转的一相对所述的基础上作为一个输出电压变化通过第二光强度，其光电二极管接收的激光光，所述样品和测量所述的表面形状所述的基础上表面中央所述输出电压的差，所述输出电压，和所述输入电压通过使用一种表面形状观测器包括仅一个矩阵，其通过一个完善的规律是保证后续控制方法。版权 : (C)2010，inpit |
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