产业专利数据
 
半导体反射电子检测器，用于扫描电子显微镜
 
JP2008213120  2008-8-21  发明申请
2010-3-4
 
  要解决的问题 : 以提供一半导体反射电子检测器用于一种扫描电子显微镜，能够实现的兼容数据分析和反射电子的收集效率之间，并能够提高性能的三维测量中。溶液 : 该半导体反射电子检测器具有一锥形或伞形状，和具有多个检测元件的。所述检测元件被设置与相对于光学轴线倾斜的电子束。版权 : (C)2010，inpit
 
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