| 入射散射电子束的轴调整方法靠在环形暗场扫描图像检测器，和扫描传输电子显微镜 |
| JP2008213967 2008-8-22 发明申请 |
| 2010-3-4 |
| 要解决的问题 : 以容易地进行散射电子束的入射轴调整方法靠在一个环形有关暗的场扫描图像检测器一散射电子束的入射轴的调整方法对一环形黑暗场扫描图像检测器和一扫描传输电子显微镜。溶液 : 在所述传输式电子显微镜具有一个由一个聚焦透镜组的照射光学系统照射一个产生的电子束从电子枪到一个样品，样品架，以保持所述样品，测角仪其控制所述样品架的倾斜角度和具有一个样品移动机构，和一种图像形成光由一物镜透镜组的系统，一个中间透镜组，和一投影机透镜组在顺序以扩大和图像形成所述的电子传输的光束通过所述样品，这被设置与所述环形暗场扫描图像检测器13以检测由所述图像形成的光学系统获得一个放大图像，和扫描电子束通过使用该投影仪的透镜一偏转线圈组，和自动调整所述电子束的入射轴与所述环形暗场扫描图像检测器13。版权 : (C)2010，inpit |
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