| 用于高能束显微镜的单通道光学处理系统 |
| US12201447 2008-8-29 发明申请 |
| 2010-3-4 |
| 一种用于高能束仪器的单通道光学处理系统，具有用于处理辐射和照明辐射的分离源。 处理辐射和照明辐射在单个光路中组合，并通过自聚焦棒透镜被引导到高能束仪器内部的样品表面。 因此，自聚焦棒透镜与样品表面之间的工作距离不会干扰这种仪器中离子束和电子束的典型布置。 偏振器和分束器的组合允许分离从样品表面反射并通过相同光学通道返回的组合入射辐射和组合辐射，使得反射辐射可以被引导到光学检测器，例如照相机或光谱仪。 在其它实施例中，以与自聚焦棒透镜的中心轴成一定角度提供样品表面的附加照明。 |
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