| 通过装置的方法用于测量一个压电响应一扫描探针显微镜 |
| WOCH08000359 2008-8-27 发明申请 |
| 2010-3-4 |
| 所述的压电响应一个样品(3)是通过施加一个扫描探针显微镜测量，其探头(2)是在触点与所述样品(3)。所述探针是安装到一悬臂(1)和一个致动器(5)被驱动通过一反馈回路(7; 11，12，4)到振荡的谐振频率f。一个与主要相同的交流电压频率f但与一个相位(相对于所述振荡)和\/或振幅变化的周期性地与一个频率fmod被施加到所述的探针，用于生成一个压电响应所述样品(3)。一锁定检测器(20)中测量所述频谱分量在所述控制信号的频率fmod(k，f)的所述反馈回路。这些部件的描述所述的压电响应和可记录作为所述装置的输出信号。该方法允许一种可靠的操作所述谐振器(1)在其谐振频率和提供一种高灵敏度。 |
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