| 扫描探针显微镜与倾斜的样品级 |
| JP2009170370 2009-7-21 发明申请 |
| 2010-2-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一种使用扫描探针显微镜观察样品具有一外伸结构。溶液 : 所述扫描探针显微镜具有一个倾斜台400样品340是安装其上。该样品是与该阶段被来回扫描的倾斜的前向扫描期间顺时针和逆时针一反向扫描期间。一种第一所述样品的表面轮廓的是确定从所述响应所述探头301和所述倾斜所述前向扫描期间该级的角度。一种第二所述样品的表面轮廓的是确定从所述响应所述探针和所述倾斜角度该级的所述反向扫描期间。最终所获得的样品是通过结合表面的轮廓第一和第二的表面轮廓。版权 : (C)2010，inpit |
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