| 电子检测装置和扫描电子显微镜 |
| WOJP08002248 2008-8-20 发明申请 |
| 2010-2-25 |
| 一电子检测装置包括 : 一个闪烁体31具有一个开口，通过一个电子发射的光束从一个电子枪通过; 所述相同的多个photoguides22的形状，其被键合到所述闪烁体和设置对称地围绕一个光学轴; 和一光电倍增管，其被连接到一个每个所述photoguides22的在所述的远侧侧的所述的光学轴，和光转换成电气信号，所述的光被发射的所述闪烁体31和接收通过所述photoguide22。所述photoguides22被连接以“作为以均等地分割所述闪烁体31对称地围绕该光轴。此外，一个位置和一个部分键合到所述闪烁体31的一个区域，在每个所述的photoguides22，被所述photoguides22之间的所述相同。此外，所述闪烁体31中所述区域的数目除以所述多个photoguides22的是至少两个。 |
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