| 原子力显微镜的自动换针装置及其使用方法 |
| CN202311499123.X 2023-11-10 发明申请 |
| 2024-2-6 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜(AFM)的自动换针装置及其使用方法，自动换针装置包括XY二维电动位移台、电动旋转台、探针托盘、消磁式电磁铁、电磁铁供电单元、光学单元、AFM测头和Z轴电动位移台。消磁式电磁铁安装于探针托盘的安装槽内，能够在通电后消磁。消磁式电磁铁用于在通电前吸附探针，在通电后释放探针。消磁式电磁铁上设有用于放置探针的刻槽。电磁铁供电单元安装于XY二维电动位移台上，能够对转动至供电位置的某一个消磁式电磁铁供电。AFM测头在消磁式电磁铁通电后吸附探针，在消磁式电磁铁断电后释放探针。相比于现有技术，本发明的技术方案能够减小换针时X、Y方向的移动范围，对放置不正的探针进行角度修正，减少光路调整操作。 |
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