| 电子显微镜与圆形照明孔 |
| DE102008037698 2008-8-14 发明申请 |
| 2010-2-18 |
| 本发明涉及(oa)粒子束设备与一个Z-轴，一beleuchtgungssystem(1，2，3，4)用于照明一个在一个对象水平(7)的对象与一个喷射带电粒子和一个物镜(6)，其可以被定位，以该被照射的物体的说明。所述带电粒子的喷射是在所述物体分裂成零-喷射和更高衍射级。所述的照明训练是在这样的一种方式安装所述的事实，它在该企业在一个以所述对象水平(7)fouriertransformierten电平一圆形照明产生的孔径。在一个所述对象的电平(7)关掉燃料液位(15)的所述的物镜(6)或一电平另外配置是phasepushing元件(9)被设置。所述phasepushing元件可以表现出一种einzellinse也被视为向所述Z-轴-两个外部电极和一个或多个内部电极位于它们之间。所述phasepushing元件可以显示出一种进一步所述Z-轴上的电极在所述的接近。 |
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