| 扫描机构和原子力显微镜 |
| JP2008199794 2008-8-1 发明申请 |
| 2010-2-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一扫描机构，其防止压电元件之间的接触和一种水性溶液和具有优异的followability以高的速度Z-扫描。溶液 : 一Z-扫描机构120具有一压电元件122，一种保护板128和一涂层126。所述压电元件122的上部被固定在一个XY-阶段110。所述保护板128被固定在所述端表面的所述压电元件122的自由端以覆盖整个所述压电元件的端表面的所述自由端122。所述保护板128具有一个杨氏模量至少等于或大于所述的杨氏模量所述压电元件122。所述压电元件122具有侧面全部水-紧密地与所述涂层126覆盖。一个用于固定一个观察样品的样品台140是固定的可拆卸地该保护板128上。版权 : (C)2010，inpit |
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