| 扫描探针显微镜 |
| JP2008205235 2008-8-8 发明申请 |
| 2010-2-18 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题，即一个高度精确的测量结果不能得到由于失真一种测量在测量的漂移造成的图像的一图案形状和图案排列在纳米量级在所述半导体的字段和存储具有进一步增加在该未来的需求。溶液 : 一个先前选择的参考图案的区域是在一定期间定时测量的测量一个测量区的与一个扫描探针显微镜样品的特性，和一个探头被校正的位移，同时必须指定所述位移在XYZ轴从所测量的所述参考图案的图像。进一步，所述指定一个测量室中的位移和所述温度数据被用于校正所述的失真所述测量该样品的图像特性。版权 : (C)2010，inpit |
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