| 扫描电子显微镜 |
| JP2008204978 2008-8-8 发明申请 |
| 2010-2-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜有效地检测二次电子，即使当改变减速电压。溶液 : 该扫描电子显微镜控制所述电场包括一个电子源的大小，一个物镜，以产生的主电子束聚焦从所述的电子源，一个级，用于将一样品，多个的检测器以检测二次反射的电子和从所述样品产生的电子由所述主电子束的照射，和一个功率供应到所述上施加一电压级。所述的电子显微镜是还配备有至少两个转换电极，和一偏转器以产生一电场和一个磁场。在该扫描电子显微镜，该负电压施加在该阶段的所述幅度被增加，所述幅度该偏转器所产生的电场的增加，和所述电场的大小被控制，从而使所述二次从所述样品产生的电子穿过一孔第一中提供转换电极靠近该样品侧，和碰撞与第二转换电极靠近所述的电子源侧。版权 : (C)2010，inpit |
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