| 扫描电子显微镜 |
| JP2008191576 2008-7-25 发明申请 |
| 2010-2-12 |
| 要解决的问题 : 一种扫描电子显微镜中，以防止劣化的吞吐量具有一种功能的成像一个一半导体晶片上的缺陷和捕获的图像转移到一个外部装置。溶液 : 该扫描电子显微镜包括至少两个存储器用于暂时存储图像数据; 一控制部分，用于启动，以传送第一第一存储器中存储的图像数据进行的所述两个存储器，以用于第二所述外部装置和设置成像条件的图像数据; 和一个用于临时存储存储器选择部第二设置成像条件下成像的图像数据，到第二存储器。版权 : (C)2010，inpit |
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