| 电子显微镜I。E。扫描电子显微镜，具有光束源和后面的光学路径中设置偏转装置偏转的光束，使得光束在指定的角度照射在样品和传感器装置检测的辐射 |
| DE102008035163 2008-7-28 发明申请 |
| 2010-2-11 |
| 本发明涉及电子束的电子源的显微镜和机构以非破坏性的确定晶体的结构的样品，从而标记，其该机构以确定晶体的结构的偏转系统设置在所述后面所述电子束源的光线的路径; 其中所述电子束在这样的一种方式中将一指定角度所述样品中的他的命中，以及作为一个传感器设备显示出，它占用所反射的辐射通过所述样品。 |
微信公众号