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电子显微镜,特别是电子背散射衍射过程中,用于使用扫描电子显微镜,包括非破坏性测定单元,用于非破坏性的确定晶体的结构的样品
DE102008035165 2008-7-28 发明申请
2010-2-11
本发明涉及一种电子-电子的显微镜与一源光束和一个机构,用于非破坏性的确定晶体一个样品的结构,其中该机构具有一个传感器设备与图像传感器和一个层的照射用于确定晶体材料结构,其中所述图像传感器被设置在所述的表面(20)和发送与所述通过所述样品所反射的辐射光的影响,其是可检测通过所述图像传感器。
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