| 用于校正标准部件，使用相同的扫描电子显微镜，和扫描电子显微镜校正方法。 |
| WOJP09003646 2009-7-31 发明申请 |
| 2010-2-11 |
| 本发明公开了一种标准试样，使用与电子显微镜以正确的该放大率与高精度。一种标准部件，用于校正来校正扫描电子显微镜观察区域内，其测量图案基于关于所述二次产生的电子信息通过扫描该观察区域上的入射电子线在一测量标本，或关于该反射电子的强度信息。该标准部件具有一第一图案区，其校正所述的放大率和，其包括一凹凸图案(线\/空间一种多层膜的图案)在所述的横截面，其具有被叠层，和一第二图案区附近的所述第一图案几乎相同的高度处，其不包含一个与所述相同的图案作为所述图案周期性第一区的间距尺寸和其被用于光束调整。 |
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