| 削尖的金刚石针，使用相同的用于扫描探针显微镜的悬臂，光掩模-校正探针，和电子束源 |
| WOJP09003765 2009-8-6 发明申请 |
| 2010-2-11 |
| 提供了一种金刚石探针，一种用于一种扫描探针显微镜悬臂包括相同，一种光掩模-校正探针，以及电子束源。金刚石探针可以有效地产生在量大，金刚石探针具有一尖端直径是允许一个扫描探针显微镜进行观察与高分辨率和与高精度的微细加工。金刚石探针包括一针具有足够的长度，用于进行结构观察与一高纵横比。本发明的该尖端金刚石探针是耐磨，金刚石针具有一个长度，它是难以制造的通过，例如，反应性离子蚀刻，是通过热化学处理制造的，和该金刚石针的尖端部分被削尖的通过等离子体蚀刻或通过该尖端部分与微波等离子体CVD生长，因此，该削尖的金刚石针是可有效地在大量产生可得到的。所述用于扫描探针显微镜的悬臂包括至少一种或一种多个尖锐的金刚石针作为探针。 |
微信公众号