| 一种二维材料原子力显微镜探针制作工艺 |
| CN202311517232.X 2023-11-15 发明申请 |
| 2024-2-2 |
| 本发明公开了一种二维材料原子力显微镜探针制作工艺，属于原子力显微镜探针的修饰与加工技术领域。包括以下步骤：将胶黏剂涂覆在探针悬臂的尖端，采用微操作臂将负载在载玻片上的硬质小球吸附在微操作臂的尖端，然后将硬质小球的底部与探针悬臂的尖端接触，使硬质小球的底部与悬臂梁的尖端固定相连；将胶黏剂涂覆硬质小球的顶部，采用操作转移台使二维材料与硬质小球中心对齐后与胶黏剂接触，使二维材料粘附在硬质小球的顶部。本发明制作过程中探针始终朝上，实现探针尖端的精确控制，包括尖端与二维材料之间的紧密结合、稳定的二维材料形貌以及高耐久性，可以精准控制每个组件放置的位置，制备出具有优异性能的二维材料原子力显微镜探针。 |
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