| 共焦显微镜 |
| JP2008189281 2008-7-23 发明申请 |
| 2010-2-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一种使用一种Nipkow盘扫描共焦显微镜用于准确地执行所述三个三维形状一待测材料在高的速度的测量。溶液 : 所述共焦显微镜包括 : 所述Nipkow盘10; 多个带路径的滤波器11通过其具有一不同的波长带的光通过; 一驱动装置13旋转所述Nipkow盘10; 一旋转编码器14测量所述Nipkow盘10所述的旋转位移R; 一光源15; 一物镜透镜18的焦距是根据所述的改变所述的光的波长和它包括轴向色像差; 一个光检测器20检测该待测材料S上所反射的光; 和一个位置确定部分22确定该待测材料S的位置，在该基础所述的聚焦状态的所述该待测材料S上的光，检测由所述光电检测器20和所述测得的所述Nipkow盘10的旋转位移R通过该旋转编码器14。版权 : (C)2010，inpit |
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