| 探针显微镜的探针对准方法及使用该方法的探针显微镜 |
| US12510794 2009-7-28 发明申请 |
| 2010-2-4 |
| 本发明提供一种能够将光学显微镜等样品观察单元高精度地设定在探针显微镜观察位置的对准方法。 预先使用具有已知结构的样品。 使用光学显微镜等样品观察单元观察样品的表面和设置有探针的悬臂的形状。 验证使用样本观察单元获得的样本观察位置和探针位置，并记录它们之间的相对位置关系。 然后，产生指示悬臂的位置的第一标记和与第一标记一起显示并且与第一标记具有相对位置关系的第二标记，以使样品相对于第二标记对准。 |
微信公众号