| 光学扫描显微镜 |
| JP2008173036 2008-7-2 发明申请 |
| 2010-1-21 |
| 要解决的问题 : 以更容易地和可靠地检测待测一光学路径的位移。溶液 : 照明光从光源14通过一个扫描单元21被偏转，从而扫描所述的表面样品13。一种半透半反镜19上入射照明光的提取部分所述扫描单元21从该光源14，从而使该部分提取光的入射一种半透半反镜34上。所述半反射镜34反射部的照明光从所述半反射镜19，并使一个光-电检测元件35以接收它。所述半反射镜还发送所述的照明光的一部分，并使一个光-电检测元件36以接收它。所述的照明光的所述的基础上接收所述光电检测元件35中的位置和所述的照明光接收所述光电检测元件36中的位置，计算机29检测的位移每个照明光从光学路径。本发明中可以使用一个激光扫描显微镜。版权 : (C)2010，inpit |
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