| 扫描电子显微镜，并因此提高图像的方法 |
| JP2008172879 2008-7-2 发明申请 |
| 2010-1-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够防止所述的图像质量的劣化和分辨率一种获取的图像，和以一种扫描电子显微镜图像提供一种改进的方法。解决方案 : 一种扫描电子显微镜，在其与一电子束照射一样品和一种二次的信息从所述试样产生的信号被成像，包括 : 一个用于存储校正数据存储部，以正确的一扫描信号用于扫描所述的电子光束在所述试样; 一个校正电路，以校正所述扫描信号通过使用该校正数据存储在所述存储部; 和一个显示到显示通过使用所获取的图像扫描通过所述校正信号校正电路，其中一个校正数据波形产生基于所述校正数据也显示在所述的显示。版权 : (C)2010，inpit |
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