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4
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扫描电子显微镜
JP2009240692 2009-10-19 发明申请
2010-1-21
要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜用于数字图像信号的处理,其将所述最大的聚焦深度和所述的最佳分辨率在根据与倍率观察。溶液 : 所述显微镜包括一个装置用于改变光学系统的孔径角的变化的直径的一多个汇聚透镜和光阑的电子束,以改变所述的孔径角α在根据与一个虚拟场对应到一单个像素,其被称为一个像素的尺寸。版权 : (C)2010,inpit
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