目的 : 一表面使用动态电量分析测量方法和使用所述相同的一个扫描探针显微镜被提供到测量一种离子存在的一种离子的溶液中和测量所述电位的差内的一喷嘴，从而精确地测量拓扑的一个表面通过所述测量电位的差值。<\/P>

构成 : 一驱动器(140)移动一阶段使一扫描工作为执行该整个样品表面上。一输出单元(150)获得一材料分布形式包含在一形状所述表面和一材料分布的形式包含在所述根据所述材料样品的样品通过所述扫描的样品的电位的差值，所述输出单元获取该形状的粗糙度，的横截面和3D附图所述表面上，所述输出单元获得粗糙度，每个部分的横截面和3D附图，所述输出单元获得的各种统计数据。<\/P>