倾斜样品台扫描探针显微镜
 
US12502177  2009-7-13  发明申请

2010-1-21
 
  扫描探针显微镜具有倾斜台,样品安装在倾斜台上。 样品被前后扫描,在正向扫描期间载物台顺时针倾斜,在反向扫描期间载物台逆时针倾斜。 在正向扫描期间,根据探针的响应和载物台的倾斜角确定样品的第一表面轮廓。 在反向扫描期间,根据探针的响应和载物台的倾斜角确定样品的第二表面轮廓。 通过组合第一和第二表面轮廓来获得样品的最终表面轮廓。
 
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